激光显微系统        

非接触式3D测量系统，几乎可在任何材料上进行纳米级剖面、粗糙度与厚度测量。通过短波长激光全面扫描，能够以光学显微镜无法实现的分辨率，按 200 至 24000 倍率实现全焦观察。对测量屏幕上任意指定的直线或曲线的横截面轮廓，都可进行“高度”、“宽度”、“横截面”、“角度”、“R 值”等测量。测量屏幕上任何指定区域的“体积”、“表面积”、“ 面积∶表面积之比”。可对观察视野整个区域执行多层分析。可对已选的各层或多层进行 3D 图像显示、横截面轮廓显示，可测量任意位置的形状、薄膜厚度。

16 bit 激光彩色观察，

倍率最大至28800倍

高分辨率，大景深观察

无损轮廓和粗糙度测量